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TELEDYNE HASTINGS 热偶真空规管 DV-5
发布日期:[2019-03-27] 共阅[79]次

Teledyne公司的DV-4和DV-6热电偶真空计管,生产具有优异的稳定性,准确性和在最苛刻条件下的可靠性真空测量设备。这些真空传感器校准的氮气或空气,对其他气体换算系数是由工厂提供。

VT系列测量仪表需单独购买:VT4系列, VT5系列, VT6系列 

DV-6

 

 

Teledyne Hastings热偶规管真空计DV-4D

特性

•现场使用的可靠性 •量程- 0.001托- 1托 (1 - 1000毫托) •控制点可选

 

附件

•NIST的的溯源的仪表校准规管 •快速连接 •装置和过滤器 •延长电缆

 

应用

•研究与开发 半导体工艺 •等离子镀膜/溅射 •低温罐/杜瓦瓶 •真空炉 •二次灌注气瓶 •负载锁 •照明/霓虹灯招牌 •化学加工

热偶规管(传感器)

规格

DV-4 系列热偶规

DV-5 系列热偶规

DV-6 系列热偶规

配置测量器/读数仪

VT-4

VT-5

VT-6

仪表校准规

DB-16D

DB-18

DB-20

量程

0.01 - 20 Torr (100 - 20,000 mTorr)

0.0001 - 0.1 Torr (0.1 - 100 mTorr)

0.001 - 1 Torr (1 - 1,000 mTorr)

最敏感区间

0.2 - 5 Torr (200 - 5000 mTorr)

0.0001 - 0.1 Torr (0.1 - 100 mTorr)

0.001 - 1 Torr (10 - 200 mTorr)

响应时间(秒)大气压- 0

0.16

25

2.9

响应时间(秒)0 – 大气压

0.04

0.8

0.06

系列成员

 

 

 

标准型

DV-4D

DV-5M

DV-6M

加固型

DV-4R

-

DV-6R

VCR

DV-4D-VCR

DV-5M-VCR

DV-6M-VCR

VCRL (长)

-

-

DV-6M-VCRL

KF-16

DV-4D-KF 16

-

DV-6M-KF16

KF-25

DV-4D-KF 25

-

DV-6M-KF 25

小型 Conflat

-

-

DV-6M-CF

高温型

DV-34

-

DV-36

加固/抗震带室外防护壳

-

-

DV-6S

耐热玻璃

-

-

DV-20

约重

0.1-0.2 Lbs(45-91g) 根据不同型号

0.1-0.2 Lbs(45-91g) 根据不同型号

0.1-0.3 Lbs(45-13.6g) 根据不同型号

 

 

 

NALL系列质量流量计 量程从0-10 sccm至0-14,000slm 特征: ◆ 耐高温到200摄氏度 ◆ 不锈钢结构 ◆ 防腐蚀蒙乃尔可供选择 ◆ 满量程范围:0-10 sccm至0-14,000slm ◆ 工作压力到1000psig ◆ 密封传感器 ◆ 15段流量范围 ◆ 20%温度或压力变化无需校正 ◆ Hastings原创质量流量测量器 精度:±1%量程(压力和温度变化20%)线性度:1%量程重复精度:±0.25% 满量程温度:气体温度-20°C至 100°C,转换器和指示器的环境温度0°C 至 40°C电源:115伏交流电,50/60赫兹- 15瓦。对于230伏,电源型号添加“E”字的输出:0-5伏直流负载2000欧姆或更大。材质:316SS,或者蒙乃尔铜镍合金,金/镍钎焊校准:直读是空气。订购时可以选择氧气、氮气、氦气、二氧化碳、等其他气体校准响应时间:

 

 

TELEDYNE HFM/HFC -D-300流量计

 

300 - D系列质量流量仪器,量程从0-5 sccm至0-3,000slm;使用全金属密封,提供模拟输出,且采用不锈钢构造。质量流量控制器为常闭阀门。腐蚀性气体(除卤素外),压差达1000 PSIG中(选项)可轻松测量。 传感器,阀门和流量过载等自我诊断功能都包括在数字特征里面。同样值得关注的是自动归零特点,当发现阀门关闭时会自动重置零点。此系列质量流量计和控制器,最多可以存储10个不同的量程范围和气体的校准数据。当测量同数量级(流速,分子量)不同的气体,改变气体时,本仪器具备经济优势和更高效率。另一个特点是内置的累加器,用于监测用户设置的条件下气体损耗量。 特征: •+/-(0.5%读数值+ 0.2%满量程)为0 - 2,500slm •经验证的可靠性 •量程5 sccm至3,000slm(氮气) •NIST可溯源校准 •内置积算器 •自动归零 应用: •大学研究 •泄漏检测 •气相沉积 •制药制程 •研发和制程流量 •半导体工艺 •气体混合 •热火焰喷涂 •真空应用中的关键配件 300-D系列质量流量计和控制器规格(基于氮气) 标准温度和压力- 0 ° C和760Torr [table] [tr] [td] 规格 [/td] [td] 质量流量计控制器 HFM-D-300 HFC-D-302 [/td] [td] 质量流量计控制器 HFM-D-301 HFC-D-303 [/td] [td] 质量流量计控制器 HFM-D-305 HFC-D-307 [/td] [/tr] [tr] [td] 使用手册 [/td] [td] HFM-D-300 / HFC-D-302 [/td] [td] HFM-D-301 / HFC-D-303 [/td] [td] HFM-D-305 / HFC-D-307 [/td] [/tr] [tr] [td] 量程 [/td] [td] 0-5 sccm 到 0-25,000 sccm [/td] [td] 0-25 slm 到 0-1000 slm [/td] [td] 0-1000 slm 到 0-3,000 slm [/td] [/tr] [tr] [td] 精度 [/td] [td] +/- (0.5% 读数值 + 0.2% 满量程) [/td] [td] +/- (0.5% 读数值 + 0.2% 满量程) [/td] [td] +/- (0.5% 读数值 + 0.2% 满量程) +/-2% 满量程for 2,500 - 3,000 slm [/td] [/tr] [tr] [td] 重复精度 [/td] [td] +/-0.1% 满量程 [/td] [td] +/-0.1% 满量程 [/td] [td] +/-0.1% 满量程 [/td] [/tr] [tr] [td] 标准工作压力 [/td] [td] 500 psig(约3.4MPa) [/td] [td] 500 psig(约3.4MPa) [/td] [td] 500 psig(约3.4MPa) [/td] [/tr] [tr] [td] 压力系数 [/td] [td] +0.01%/psi(约6800Pa)读数值 (0-50 psig N2) 典型 [/td] [td] +0.01% 读数值/ps(约6800Pa)i (0-1000 psig N2) 典型 [/td] [td] +0.015%/psi(约6800Pa)(0-500 psig N2) [/td] [/tr] [tr] [td] 耐压选项 [/td] [td] 1000 psig (测试达到1500 psig) [/td] [td] 1000 psig [/td] [td] 无 [/td] [/tr] [tr] [td] 温度系数 [/td] [td] 零点





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